生產(chǎn)設(shè)備

氣體質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)

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2017/5/27 瀏覽次數(shù)：

一鍵分享

a)產(chǎn)品概述
質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)適用于生產(chǎn)線上的終檢校準(zhǔn)，通過(guò)對(duì)小量程質(zhì)量流量傳感器的通訊功能測(cè)試及不同溫度下的校準(zhǔn)，確保產(chǎn)品精度及質(zhì)量。校準(zhǔn)流程及算法可由用戶自定義配置，豐富的登錄模式及權(quán)限級(jí)別設(shè)定，自動(dòng)生成測(cè)試日志等，確保操作靈活且便于擴(kuò)展。
b)應(yīng)用專利技術(shù)
本系統(tǒng)中以下技術(shù)正在申請(qǐng)實(shí)用新型或發(fā)明專利：
《批量傳感器固定可識(shí)別裝置》
《無(wú)繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》
c)系統(tǒng)功能

主要功能	描述
用戶管理	管理用戶登錄及操作權(quán)限，按權(quán)限高低分為管理員、工程師、技術(shù)員、線長(zhǎng)和操作員，管理員具有最高權(quán)限，可以添加、刪除和修改用戶信息；
工單操作	用于創(chuàng)建不同溫度下的工單任務(wù)，只有當(dāng)前存在的工單被終止或完成時(shí)，才能創(chuàng)建下一個(gè)工單；
參數(shù)配置	用于工程師對(duì)校準(zhǔn)或測(cè)試參數(shù)進(jìn)行配置；
模式選擇	提供生產(chǎn)模式、工程師模式以及校驗(yàn)?zāi)Ｊ焦踩N工作模式；
錯(cuò)誤日志瀏覽	為用戶提供按時(shí)間查詢的錯(cuò)誤日志瀏覽；
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)	自動(dòng)存儲(chǔ)測(cè)試過(guò)程數(shù)據(jù)。

d)特性詳解
兼容多種信號(hào)輸出類型的傳感器——

信號(hào)類型	輸出方式
模擬量	電壓信號(hào)
數(shù)字量	IIC通訊信號(hào)
	SPI通訊信號(hào)
	PWM脈沖信號(hào)

溫度可控范圍寬，穩(wěn)定性優(yōu)異——可實(shí)現(xiàn)-20℃~100℃范圍內(nèi)不同溫度點(diǎn)的精確控制，溫度控制精度為 1℃，目標(biāo)溫度下的溫度波動(dòng)度為 0.2℃；
良好的氣路密封性——采用鋼質(zhì)氣管，采用少接頭設(shè)計(jì)，確保系統(tǒng)密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進(jìn)行5次（用不同顏色的曲線代表）泄漏測(cè)試時(shí)的泄漏率。（單位為sccm/s，測(cè)試壓力為2.5psi，保壓時(shí)間 20s，每個(gè)傳感器夾具包含4條氣路）

高測(cè)試校準(zhǔn)精度——?dú)怏w流量控制精度達(dá) 1sccm，溫度控制精度 1℃。
高測(cè)試效率——系統(tǒng)可同時(shí)對(duì)32個(gè)被測(cè)件進(jìn)行操作，8路總線并行的設(shè)計(jì)方法和溫度的快速穩(wěn)定為Cycle Time節(jié)約了大量時(shí)間，達(dá)到160 DUTs/h，滿足生產(chǎn)線節(jié)拍的要求。
測(cè)試校準(zhǔn)穩(wěn)定可靠——GRR實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)良好。圖示為校準(zhǔn)200sccm量程的傳感器時(shí)不同流量點(diǎn)下（50/100/160/200sccm）的GRR數(shù)據(jù)，均<10%。

便于維護(hù)——設(shè)計(jì)了專門的探針模塊用于從傳感獲信號(hào)點(diǎn)獲取信號(hào)，損壞時(shí)更該模塊即可；氣路裝拆方便；繼電器狀態(tài)通過(guò)指示燈顯示，指示直觀。
完善的安全機(jī)制——智能流程判斷；提供急停等安全操作機(jī)制，在系統(tǒng)出現(xiàn)突發(fā)狀況時(shí)對(duì)人及設(shè)備形成保護(hù)。
e)運(yùn)行環(huán)境及系統(tǒng)指標(biāo)

項(xiàng)目	描述
系統(tǒng)指標(biāo)
流量范圍	0~1000sccm/0~200sccm可選
節(jié)拍	160件/小時(shí)，32件并行測(cè)試
物理尺寸 (W D H)	溫控箱外形尺寸：2300 1430 1960mm
	熱流機(jī)外形尺寸： 610 991 1303mm(Max.) （熱流機(jī)與溫控箱距離不超過(guò)2m）
運(yùn)行環(huán)境
運(yùn)行環(huán)境	溫度：0~50℃；濕度：35%~80%；
供電要求	AC 220V，50Hz	校準(zhǔn)平臺(tái)、熱流機(jī)供電
	AC 380V，50Hz	溫控箱供電
供氣要求	2.0bar	校準(zhǔn)供氣，干燥、純凈的氮?dú)?
	5.0bar	氣缸供氣，干燥的壓縮空氣
	90~100psi	熱流機(jī)供氣，干燥的壓縮空氣

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